因應半導體演進 海德漢/ETEL提供全方位高精度運動平台解決方案

海德漢於SEMICON TAIWAN 2022展示集團一系列的高精度產品，歡迎蒞臨海德漢攤位K2870指導參觀。海德漢

隨著半導體製程與封裝技術的不斷演進，對於半導體製造與封測設備的量測與運動控制的性能需求自然也就不斷提升。海德漢/ETEL是擁有超過百年歷史的量測和運動控制軟硬體的供應商，在運動平台、控制系統與編碼器、光學尺等擁有相當完整的產品組合。

談到與半導體設備上運動控制平台的相關解決方案，海德漢電子事業部銷售主管林明良談到，海德漢可以從機台所需的零組件到完整運動平台，提供高效能解決方案給其客戶，在面對晶圓製造與封測業的製程挑戰時，都能使其設備發會高效能、高精度的運動控制能力，確保在良率與產能有更加出色的表現。

在設備運動控制平台的零組件方案中，光學尺一向是相當重要的角色，傳統光學尺僅能量測單一自由度上的位置，從量測的角度來看，其他自由度上的誤差無法被量測，精度就無法提升。對於先進製程的良率提升，某種程度上會遇到瓶頸。若要解決這方面的問題，傳統作法必須使用多組光學尺搭配多個讀取頭來處理多個自由度的精度量測，後端的設備取得較為完整的量測數據後，便得以補償校正，確保整體設備的運作精度與穩定性都能有最好的表現。

但這種作法在整體系統設計上就會變得非常複雜和沒有效率，為了解決這方面的問題，海德漢的MULTI-DOF量測技術與光學尺LIP 6000 Dplus便孕育而生，該產品主要是採用採用繞射式光學量測原理，擁有高解析度(≤ 172 pm)、高精度(X方向±3µm / Y方向±20µm; 亦提供sub-µm方案)、極低訊號誤差(± 5 nm)、極低RMS雜訊(0.5nm)的表現。通過使用MULTI-DOF量測技術搭配LIP6000 Dplus，能大幅降低整體系統設計的複雜度，同時也能提升性能表現。

承如一開始所提，海德漢/ETEL在設備運動平台領域擁有相當完整的軟硬體解決方案，除了海德漢光學尺外，ETEL亦有運動平台VULCANO2與主動式制振平台QuiET，三者之間可以互相搭配形成完整解決方案，藉此展現出相當優異的性能。VULCANO2是一款具有創新設計概念，並搭載著名ETEL鐵心式馬達以及高階光學尺的龍門堆疊式多軸運動系統，尤其適用於晶圓前段和3D IC製程檢測，例如微影堆疊量測、微小關鍵尺寸特徵2D&3D量測、薄膜量測等應用。QuiET能有效消除來自樓板振動和運動平台本身加減速的振動，QUIET的前饋控制可消除高達99%的振動。

林明良透露，海德漢/ETEL的產品，如光學尺、運動控制器、運動平台與制振平台等，可以彼此互相搭配提供完整解決方案給客戶，也能依照客戶需求單獨提供，就業務模式上相當彈性且多元。而他也強調，海德漢/ETEL豐富的應用經驗，搭配海德漢/ETEL所提供的完整解決方案，可縮短開發時間，使客戶端設備快速導入量產。以往客戶需要自行整合來自各供應商的零組件，並對其原型機進行完整測試，確認沒有問題後才會進入量產階段。使用海德漢/ETEL的完整解決方案，可有效簡化開發流程，提升研發效益，使設備快速導入量產。

這類的解決方案非常適合用在半導體各種尺寸的晶圓檢測製程以及各種先進封裝製程中，目前在許多國際大廠的關鍵製程設備中，都可以看到海德漢/ETEL的身影。海德漢/ETEL不僅是設備業大廠的重要合作夥伴，也是名副其實的隱形冠軍。