西村陶業SEMICON Japan 2025亮相 展示多材質先進陶瓷與真空吸附技術

日本西村陶業將在Semicon Japan 2025中展示包含AnyChuck局部吸附真空吸盤、Yttria、YAG、Translucent Aluminum及Cordierite等高階精密陶瓷件。西村陶業

西村陶業（Nishimura Advanced Ceramics）將於2025年12月17至19日參加SEMICON Japan 2025，於東京台場Big Sight展出多樣針對半導體製程的先進陶瓷產品與真空吸附技術（展位：東館1樓E區6635）。本次展示包含局部吸附真空吸盤、耐電漿與高溫陶瓷材料、精密陶瓷結構件，以及多款高純度功能陶瓷。現場亦將開放主力吸持系統ANYCHUCK的實機操作，歡迎參觀者自備工件體驗其吸附穩定度。

西村陶業創立於1918年，源於京都清水燒工藝，百年來已發展為兼具「原料選配、成形、燒結、精密加工」完整製程的一體化陶瓷製造企業，並以高品質與高客製化能力，長期服務半導體、光電、醫療與機械產業。

ANYCHUCK局部吸附真空吸盤

ANYCHUCK為本次展會亮點之一。其均勻吸附力、低刮傷、低翹曲特性，可支援晶圓、玻璃、藍寶石、陶瓷基板、薄膜類等多材質工件。西村生產之真空吸盤有效降低吸附痕與污染，在減薄、切割、貼合與外觀檢查等製程中已廣泛應用。

多材質陶瓷的全面支援

除了吸附技術，西村陶業也展示多款高純度陶瓷材料，包含氧化釔（Yttria）、釔鋁石榴石（YAG）、透明氧化鋁（Translucent Alumina）、鋁鈦酸鹽（Aluminum Titanate）與蓳青石（Cordierite），可滿足不同半導體製程需求。

氧化釔因其高熔點與化學惰性，能在強電漿條件下長時間維持結構穩定，是EUV、蝕刻腔體及ALD/CVD設備的重要材料。YAG以高硬度與高溫尺寸穩定性著稱，適合用於光學元件與雷射設備。透明氧化鋁具優異透光性與耐磨度，被廣泛用於感測視窗與高溫光電模組。

鋁鈦酸鹽具極低熱膨脹與抗熱衝擊性，適合快速熱循環製程，並因其低熱導率常用於隔熱結構。蓳青石則以極低熱膨脹係數與卓越熱衝擊性著稱，在急速升降溫環境中仍能保持尺寸穩定，是熱處理平台與陶瓷載具的關鍵材料。

新工廠啟用：全面提升供應能力

西村陶業近日啟用全新製造基地，擴充生產線並導入升級設備，強化品質控管、效率與客製化能力。新基地象徵公司邁向全球供應鏈布局的下一階段，能更有效率地支援半導體與先進材料客戶需求。

西村陶業表示，SEMICON Japan 2025是深化國際合作的重要舞台，公司將透過多材質陶瓷與精密吸附技術，持續提升半導體製程設備效能，更多資訊請參見官網。