亞泰化學供應系統 兼顧經濟面及ESG管理

亞泰團隊於2022國際半導體展合影。亞泰半導體

環境、社會與企業管理(Environmental/Social/Governance；ESG)作為企業永續經營的重要議題，SEMICON Taiwan 2022國際半導體展在「綠色概念製造區」規畫了高科技廠房設施專區、循環經濟專區、碳管理專區與智慧能源管理專區等四大展區，展現半導體供應鏈的永續發展與興盛。

亞泰半導體設備(Asia IC MIC-Process；ASIAICMP)展出的「化學研磨液輸送系統(Chemical/Slurry Supply System；CDS/SDS)」提供了符合智慧轉型及低碳轉型目標的雙軌優勢，精準地在達成廠務和製程需求的前提下，透過與半導體客戶共創更佳的「信任價值」，即為發展出同時兼顧經濟面及ESG管理的解決方案。

以三桶式研磨液供應系統iTrident為例，可在為有限的廠房配置下爭取到更佳的物料處理坪效，節省空間之餘更藉由機組零件運作頻率降低達到設備使用壽命的延長，使從機台建置到操作維護，總體成本的節省。在符合人因維修、空間節省及極簡美學的設計下，提供更優化的安全冗餘、混料更精確、且即時確保研磨液品質的供應系統。

設備作業管理視覺化而言，亞泰將數位神經布局於品質感測器和流量控制，人機操作採用「大數據」以及「感測器」的整合，提供客戶智慧技術的應用。以「生產資訊可視化」、「故障預測」、「精度補償」、「自動參數設定」、「自動控制」及「自動排程」達到智慧化的產品功能。例如，透過軟體介面，可得知輸送液體至設備內的桶槽狀態，包括壓力穩定、攪拌時程和效率的匹配，以及輸出液體的品質檢核。

透過軟體介面，搭配背景程式與檢測儀器的連動，達到最佳的運轉效果，並將其作業數據保留至智能數據庫，以便與其他作業的大數據進行連接。針對智慧監測所產生的各項紀錄數據，動態保存於數據庫，且此數據庫具雙備份功能(Redundancy)，即便一數據庫失效，另一數據庫仍能保存所有紀錄並且維持智慧作業的運轉，作為大數據集合的基礎。

亞泰的設備依照客戶使用者的需求，進行智慧化模組配置，包括供應量、供應距離、供應液體之複雜程度，皆為動態調整之關鍵。以使用端的用量及分樓層規劃，控制架構基本可分為兩大類型，包括：一、適合試產線、實驗線或迷你晶圓廠；二、適合大量物料供應，有多層in-line線上品質監控管理的大型晶圓廠，客製化設計可因應各類型需求。亞泰所提供的解決方案，符合安全性、便利性、創新與成本節省的概念，達成供應鏈環保綠能及產業永續經營目標。