芯上微裝發布新產品 望加速中國降低對ASML依賴
- 徐畇融／綜合外電
中國半導體產業近年在官方和業界的積極推動下，正尋求降低對外依賴和提升自給能力。近期，上海微電子旗下子公司上海芯上微裝科技股份有限公司（簡稱芯上微裝）發表了包括半導體曝光機、雷射退火系統、先進檢測工具和封裝及晶圓鍵合解決方案等各類製程技術及產品，被視為有望助中國半...
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