ATMI落實綠化學12準則 半導體製造生產效益和環保兼顧

綠色議題全球發燒，全球製造業正掀起一陣生產技術改革旋風，高生產率及低成本已不再是唯一準則，「綠色產品」和「綠色製程技術」將成企業的新競爭優勢。綠色製造的重點在於節能、省水、有毒物質處置、廢棄物減量、廢氣排放減量，以及符合各種環保指標。全球領導半導體、面板和LED廠商都不約而同指出，該從製造源頭就導入綠色設計概念(Design for Green Manufacturing)。

有鑑於此，SEMI於2010年邀集台灣半導體、面板、太陽能、LED產業代表與相關設備材料商，籌組「SEMI高科技綠色製程委員會」，以SEMI環境衛生安全(EHS)產業標準為基礎，從原料和設備研發著手，要凝聚業界，共同提升台灣的綠色競爭力。今(2011)年，SEMI更在SEMICON Taiwan中再次推出「綠色製程及廠務管理專區」，而全球化學材料領導供應商ATMI(先進科材)也首次參展，展示該公司在綠色材料的研發理念與新的解決方案。

ATMI的產品iCleaner在今年7月份獲得美國環境保護局的「Design for the Environment」標章。這是全球半導體產業首度獲得此殊榮的產品，顯示ATMI在環保產品的研發上不惜投入成本與人力，在提升產品效能的同時，也顧及健康與環保需求。該產品是結合「12 Principles of Green Chemistry」(綠色化學品12個準則)以及「12 Principles of Green Engineering」(綠色工程的12個準則)的2個核心準則來設計，與客戶合作並透過 ATMI的高效率研發設備，研發團隊得以開發出全新、低臭味且對環境無害的配方，創造高效率、低成本的產線中清洗方式。

ATMI執行副總Tod Higinbotham表示，該公司將12 Principles of Green Chemistry視為ATMI的Green DNA，確切落實在設計、製造的每個環節中，嚴謹地控管ATMI所生產的化學產品與材料，並以最有效率的方式提供符合客戶需求的產品。達到EPA標準並榮獲DfE標章，是ATMI積極邁向化學及材料發展的第一步。

基準清潔(Baseline cleanliness)對IC製程環境來說相當重要，而隨著越來越多的先進電子產品尺寸要求輕薄短小化，晶圓處理環境中的晶圓表面與其他表面的清洗更顯關鍵。除安全與環境考量外，與過去的方法相比，該產品強化的清洗效能在不影響良率的前提之下，不但可提升生產率，對製程更無其他影響。

Tod指出，半導體的製造未來在材料的選用上，會有更多的原物料將取自可再生素材、可生物分解的物質。對材料廠商而言，為客戶提供一個兼具效率和環保的解決方案，就是實踐綠色製造的最佳方式。因此，ATMI將「環保」與「永續經營」納入新產品研發設計時的基本原則，並透過供應商管理團隊，遴選合格的供應商作為合作夥伴。

Tod表示，ATMI所有的產品都符合SEMI制定的相關國際產業技術標準。此外，ATMI從一開始就嚴謹檢視所有的新化學產品，執行各個階段性的控管，確切檢測在量產機台中的化學產品，確保這些物質不在RoHS或JIG Green list等環保違禁品清單中，同時會主動提交相關檢驗表單給客戶。

Tod強調，在評估環保成效時，需要針對產品本身的整個Life Cycle作全盤性的考量，也要從「無毒」和「節能」之間，找到一個對環境最友善的平衡點。儘管半導體製程中牽涉到許多技術和商業機密，然而面對綠色管理和綠色製造的趨勢，Tod認為，未來客戶和供應商更應該要建擴大信任基礎，更開誠佈公的去分享資訊，共同設定綠色製程的目標，才能從設計就植入綠色概念，提升企業與整體產業的綠色競爭力。