交大蔡春進教授與志尚儀器 進行自動平板式固氣分離器技轉合作

線上自動平板式液氣分離器暨離子層析系統。

近年來志尚儀器為了不斷的追求品質目標以提供客戶最佳的售後服務，不僅於2006年首先通過ISO9001認證，之後又率先於2008年成立 ISO 17025 認證暨TAF第1936號氣體流率(Flow Rate)與氣體偵測器(Gases Monitor)校正實驗室，以提供客戶最優質的氣體流量計或校正器之校正與可燃性/毒性氣體偵測之校正服務。

2009年開春志尚儀器所成立的全台第1家微污染氣體分析實驗室(AMC Lab.)，也已獲得 ISO 17025 的認證暨TAF第1992號實驗室認可。此外更積極與學術界進行技術轉移及交流，2010年有幸獲得國立交通大學蔡春進教授的首肯同意，與志尚進行技術合作，並將已獲得中華民國專利的Denuder 技術作技術轉移，以便與 ISO 17025實驗室合作開發出新一代的AMC分析儀。

交通大學蔡春進教授對於平板式濕式分離器已有多年的研究經驗，而蔡教授最近也已獲得中華民國第 I327641 號專利，該平板式濕式分離器專利包含此平板式濕式分離器之用於連續式採樣及分析之系統，及用於將氣體吸收及氧化之設備開發了一種高效率的平板式濕式固氣分離器(Parallel plate wet denuder；PPWD)，以改善現今台灣煙道酸性氣體標準採樣方法的缺點，有助於提升採樣分析的方便性及準確性。志尚表示，有此榮幸與蔡教授合作，並獲得美國Dionex 公司全力支援該公司的線上 IC離子層析儀系統，並結合志尚儀器自行生產的多點採樣系統，以及 ISO 17025 認證實驗室的品管掌控，而推出最新一代的半導體AMC線上離子層析儀監測設備。

志尚儀器自1990年成立至今一直以成為產業界氣體分析儀的專業代理/製造商為目標，該公司不僅代理相關歐美知名半導體及工安環保氣體偵測分析儀器，此外也希望藉由相關ISO 17025實驗室的建立，將志尚儀器從1個單純氣體分析儀器代理商的角色，提升為氣體分析儀器製造商及系統統合商(Turn-Key Solution)。

因此近年為因應客戶的需求，除了銷售儀器設備外，志尚也已成功開發出自製智慧型採樣系統 (Model 2000 iTMS)及相關分析儀器設備， 目前已獲得多家半導體廠商採購。此外，志尚儀器也已成功發展出一系列半導體暨工安環保相關儀器及設備，例如：攜帶/固定式煙道氣體冷凝採樣系統、製程/煙道分析儀、動態標準氣體稀釋系統、標準氣體產生器、製程或半導體專用多點採樣系統、固定式氣體偵測系統…等等，因此目前志尚儀器可以說是唯一具備且可以由儀器諮詢→儀器銷售→系統整合→分析校正服務→儀器租賃提供客戶AMC完整治標暨治本的解決方案。

2011年除了美國 Doandlson公司發表最新技術的ChemCore Filter，該Filter不僅適用於半導體產業上的各類機台，或是FFU或是MAU上以濾除相關酸性或是鹼性氣體，其特點有低風壓阻抗、高過濾效率、超長壽命、全部材質採可自然分解材質、低價位等優點，此外 Donaldson公司為了提供12吋廠 Stepper/Scanner Lens的最佳保護，更提供針對廠務的儀用空氣及氮氣管線提供不同種類的 POU Filter (Point Of Use Filter)及最新的以BSMmax 為濾材的 LG-12系統；美國 Extrel公司也將提供線上監測型質譜儀並與工研院合作進行相關半導體廠VOC方面的研究，尤其是針對HMDSO/TMS等容易造成曝光機鏡面 (Lens) Coating 的研究。

此外美國Picarro 公司亦以CRDS (光腔衰盪光譜分析)原理，提供 ppt 等級的 Ammonia/HF Analyzer；而西班牙 SIR 公司及英國 Ion science 公司也將展出相關的SO2-TS-H2S & NH3-NO-NOx 分析儀及攜帶式 VOC 分析儀 ，歡迎大家蒞臨會場指教。志尚展示攤位號碼：世貿一館 883 。如需進一步訊息請參觀官方網站 http://www.jusun.com.tw。