台積A14 2028年投產 張曉強：high-NA EUV不是非用不可
- 楊智家／綜合報導
台積電業務開發資深副總裁張曉強最新表示，台積電即將推出的A14製程仍未看到非要用ASML高數值孔徑（high-NA）極紫外光（EUV）微影設備的理由，台積電仍在評估未來製程節點是否採用high-NA EUV微影設備。據路透（Reu...
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