台積電暫緩High NA EUV量產 ASML罕開實驗室推銷
- 梁燕蕙／綜合報導
台積電業務開發暨全球銷售資深副總裁張曉強近來重申，台積電「不急著」採High NA EUV曝光機量產先進製程，再次引發外界對於ASML新一代重磅微影設備的好奇。據ASML介紹，製造一台 High NA EUV曝光機需經歷多次進出...
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