深耕半導體製程技術 志尚儀器打造高效安全監測解決方案

志尚儀器提供完整並符合Semi IRDS相關規範的AMC分析設備。志尚儀器

在競爭激烈的半導體產業中，製程精確度與廠務安全是企業成功的關鍵。志尚儀器憑藉其深厚的專業知識與豐富經驗，為半導體製程提供一系列領先業界的儀器與設備，確保您的生產線高效、安全、穩定運行。

志尚儀器的核心半導體相關產品包括：1.半導體製程暨廠務分析設備：精確監測製程中的各項關鍵參數，為您提供即時數據，優化生產流程，確保產品品質。2.製程氣體線上質譜儀（VOC/PFC）：專為半導體產業設計，能夠即時分析並監控製程中產生的揮發性有機化合物（VOCs）及全氟碳化物（PFCs），有效防止氣體洩漏，保障工作環境安全。3.毒性氣體感測器：提供高靈敏度的偵測功能，即時發現潛在的毒性氣體威脅，為您的員工築起第一道安全防線。

志尚儀器不僅提供優質的設備，更以專業的技術服務為後盾，提供儀器校正、維修與技術支援，協助半導體產業客戶解決任何技術挑戰。欲了解更多產品資訊請至志尚官網查詢。

揭開「看不見」的真相：Picarro化學計量系統

隆重介紹Picarro化學計量系統，一套專為半導體光刻製程設計的全面性空氣分子污染物監測解決方案，不是提供單純的監測器，而是一套基於革命性腔體衰盪光譜（Cavity Ring-Down Spectroscopy；CRDS）技術的智慧型生態系統，為您的製程提供即時、精準、全面的保護。

核心優勢：領先業界的CRDS技術

核心技術：CRDS，是雷射光譜領域的黃金標準。它通過測量光線在精密光學腔體內衰減的時間，來計算分子濃度。這項技術的獨特之處在於如下：

1.超高靈敏度：能夠偵測到低至兆分之一（ppt）的酸、鹼類污染物，以及低至十億分之一（ppb）的揮發性有機化合物。這比傳統的GC-MS（氣相層析-質譜法）等離線分析方法更加靈敏，而且能提供連續、即時的數據。2.即時監測：無需等待繁瑣的採樣和實驗室分析，系統能夠每30秒提供一次精準的測量結果。這意味著，一旦發生任何洩漏或異常，您可以在幾分鐘內收到警報並立即處理，而不是在幾天後才發現問題，那時的損失可能已經無法挽回。

3.多功能性：單一系統可同時監測多種關鍵污染物，從最常見的丙酮、PGMEA、PGME，到對光學元件有嚴重影響的矽氧烷（D3、D6 Siloxane），再到腐蝕性極強的氟化氫（HF）、氯化氫（HCl）等，一網打盡所有潛在威脅。

選擇Picarro就是選擇未來

在全球數百家高產量製造（HVM）晶圓廠中，Picarro的CRDS技術已經被證實是保護光刻製程免受AMC威脅的理想選擇。不僅提供先進的硬體，更提供專業的技術支援和數據分析服務，幫助客戶將監測數據轉化為切實可行的行動方案。

AMC自主研發先進技術與應用 實現ESG永續經營目標

志尚儀器提供最新的「無放射源」離子電泳分析儀（IMS），這項技術符合SEMI IRDS Roadmap對於微污染分析與ESG永續經營的精神 。這款分析儀融合了多項優點，既可使用空氣作為摻雜劑（Dopant），也能採用化學摻雜劑。

獨特的電路設計能切換正負極，讓單一設備即可同時偵測酸性和鹼性氣體 。當使用空氣作為電荷供應源時，它能同時量測多種酸性氣體，例如HCl、Cl2、HF、醋酸和硝酸等 。

感測器具備可加熱設計，能有效避免樣品濃度過高造成的污染 。更重要的是，它不含「鎳63或氚」等放射性元素，這有助於企業實現ESG永續經營目標 。

另外志尚儀器致力於為高科技廠房提供最新的線上排放管道酸鹼氣體與氣溶膠成分分析技術 。志尚儀器與國立陽明交通大學蔡春進教授深度合作，成功將其Denuder技術商業化 。這項技術已與ISO 17025實驗室結合，開發出新一代的AMC分析儀（PPWD-IC），可應用於偵測高科技廠房排放管道中的「五酸一鹼」氣體 。此外，該技術也能透過SDEP/PILS進行微粒中的化學成分分析 。

志尚儀器也與蔡教授合作開發新型的排放管道PM2.5光學式線上連續監控系統 。這套系統針對高科技廠房內因酸鹼氣體和高濕度導致的光學不準確問題，設計了特殊的前處理設備，並採用Beta-Gauge進行雙重驗證，確保數值的準確性 。

專業認證

志尚儀器始終追求卓越品質與最佳售後服務，不僅通過ISO 9001認證，更成立了獲得TAF第1936號認證的 ISO 17025氣體流率（Flow Rate）校正實驗室 。在ISO 9001體系下，志尚提供優質的氣體感測器校正和大氣酸鹼氣體分析服務 。

志尚儀器自1990年成立至今，不斷的充實自我研發能力，並積極與海內外相關研究單位合作，已從一個單純氣體分析儀器代理商的角色，提升為氣體分析儀器製造商及系統統合商（Turn-Key Solution），並成立研發製造部門，正式踏足研發製造領域，成為具備由儀器諮詢→研發製造→儀器銷售→系統整合→分析校正服務→儀器租賃，提供客戶完整治標暨治本的解決方案。志尚儀器深信透過不斷創新與優化，將成為半導體產業客戶的最佳合作夥伴。