中勤發表多項半導體、清洗技術及無塵室建置

中勤推出晶圓、光罩保護傳載、Purge station、光罩清洗機台、特殊材料晶舟盒等，以及無塵室清洗方案。

今年半導體展(SEMICON)中勤實業主要展出產品有各式尺寸晶圓盒？晶舟盒，包括創新材料鐵氟龍製造，不僅精密度佳、耐高溫、耐化性、更具堅韌性與耐久材，深獲業界好評；此外還針對薄化晶圓(Thin Wafer handling solution)以及Particles ESD damage、Outgassed…等提供最佳解決方案，打造出一系列完整產品線，提供專業產品整合。

中勤董事長陳延方表示，在四大產業面板、太陽能、發光二極體(LED)、半導體均持續擴大佔有率，今年半導體展也推出晶圓、光罩保護傳載裝置以及光罩清洗機台，特殊材料晶舟盒等以及無塵室清洗方案，已有多家半導體大廠陸續採用，頗獲客戶好評。

此外，面板產業陸續布局新建廠有成，包括8.5代廠至10代廠都有導入，玻璃基板卡匣目前市佔率第一；太陽能部分，鹼製程等先進製程都已切入，佔有率高達八成以上。LED約七成多，半導體陸續推出各式玻璃、光罩、晶圓傳載以及儲存解決方案，透過創新的材料特性以科學實驗方式研發產品。

在關鍵製程技術上，目前積極增設CLASS 1材料科學實驗二廠，中勤無塵室之建置為半導體所要求之高潔淨度所打造及定位。無論是針對客戶需求之規格產品或者與中勤共同開發之製程所需各類材質製品及晶圓、晶圓承載器，皆能進行潔淨清洗包裝及實驗室驗證檢驗等高規格無塵室多元化服務。

為有效檢測出無塵室中之空氣、水中Particle、金屬離子及陰陽離子檢測，中勤實驗室具有的專業檢測儀器領先業界，並達到半導體大廠最嚴苛的要求。去年設立一廠產能已滿載，今年營收有望突破新台幣6億元以上，公司邁入穩定期同時在四大產業穩定成長。中勤實業位於南港展覽館1130攤位，歡迎蒞臨指導。