環保意識抬頭　先進科材推DfE標章產品

先進科材(ATMI)宣布旗下新產品「iCleaner」通過美國環境保護局(Environmental Protection Agency；EPA)認證，獲得「環保設計」DfE(Design for Environment)標章，這是半導體產業首度獲得環保標章的化學產品。

先進科材是半導體材料和高純度材料處理和運送解決方案廠商，協助半導體、面板和Life Science產業推動製程效率。

先進科材日前表示，旗下的「iCleaner」產品是專為半導體製程中的清洗流程所設計，日前該產品獲得美國環境保護局認證頒獲「環保設計」DfE標章，是半導體產業首度獲得環保標章的化學產品。

先進科材指出，身為產品工程創新者和半導體產業材料和包裝業者，協助發展產品設計都結合兩個核心原則，分別為「綠色工程的12個原則」和「綠色化學的12個原則」。

先進科材也指出，研發團隊透過旗下的高效率研發設備(High Productivity Dev elopement)和「12個原則」方法，發展出低臭味和對環境無害的配方，圖繩也兼顧高效率和低成本的線上清洗方式，對於基準清潔(Baseline Cleanliness)對積體電路製程環境而言，也是關鍵的部分。

先進科材進一步指出，隨著電子產品的外型尺寸開始追求輕薄短小，對於晶圓處理環境中的晶圓表面和其他表面的清洗更為關鍵，除了安全和環境考量之外，與過去方法相比，該產品強化的清洗效能在不影響良率的前提下，不但可提升生產率，更對製程無其他負面影響。