艾羅德克於國際半導體展展出最新產品

美商艾羅德克有限公司(Aerotech)於今(2014)年台北國際半導體展，將展出PlanarDL系列定位平台和QNP系列壓電奈米定位平台。

從1970年代開始，Aerotech研發的生產各種高精度運動控制系統與定位平台，被廣泛用於半導體、光電、生醫、資料存取、雷射加工、航太、量測與檢測，以及先進封裝與各種需要高精密定位系統的產業。

於半導體展期，Aerotech將展出最新的運動控制產品。PlanarDL系列定位平台提供傑出的動態特性與幾何公差，並且具有最小的機械尺寸、薄型設計與具有競爭優勢的價格。PlanarDL平台具有9種行程與性能選項，其直線度與平面度的優勢適用於表面輪廓量測應用與半導體？LED雷射劃線應用。

同期展出Aerotech的QNP系列壓電奈米定位平台與QLAB控制器，則是奈米定位技術的革命性設計。QLAB控制器讓高階運動控制功能與先進工具，具有前所未有的使用者便利性。QNP壓電奈米定位平台提供高動態，次奈米解析度，與奈米等級線性度。應用於半導體產業之運動控制與定位系統，使用者再也不需要犧牲產能或精度。

Aerotech產品應用於半導體產業具有多年經驗，除前段之曝光顯影製程、晶圓檢測製程、薄膜測厚製程、原子力顯微鏡應用，至後段之先進封裝製程、晶圓切割製程、晶圓接合製程等，Aerotech能夠針對各種特殊應用提出最佳化之標準化？客製化解決方案，達到最嚴苛之運動控制要求，提升設備之產能與良率。

Aerotech於2014年台北國際半導體展覽期間攤位，設置在南港展覽館，攤位號碼#585，歡迎有興趣的買主與相關業者蒞臨指教。欲知更多Aerotech相關資訊，請洽官方網站：http://www.aerotech.com/。