Entegris推出新型VaporSorbR化學濾網

Entegris Inc.(NASDAQ-GS：ENTG)是高要求先進製造環境的提升產量材料與解決方案領導廠商，宣布推出空氣分子污染(AMC)化學濾網VaporSorb系列的擴充產品。

VaporSorb是化學濾網的領導品牌，用於半導體製造關鍵步驟的無塵室環境和製程生產機台。VaporSorb化學濾網的設計已能以單一過濾器捕捉空氣有機物、鹼和強酸。新型VaporSorb TRK已添加特殊材質，使其成為第一個不僅能捕捉前三種核心污染物類別，還能捕捉第四類別的化學濾網，也就是定義為弱酸的類別。

針對光微影塗佈？曝光機追蹤設計的新型化學濾網，首創「四合一」化學濾網解決方案建立在過去的「三合一」技術上，避免了多重化學濾網的處理。此外，本化學濾網能保持VaporSorb領先業界的使用壽命，降低生產機台的停機時間和持有成本。

Entegris AMC過濾服務部資深產品行銷經理Joe Wildgoose表示：「現今的黃光製程良率問題可望減輕；解決問題要從處理一個必須處理的污染物類別開始，也就是弱酸。VaporSorb TRK不僅是能處理三種常見主要問題的單一解決方案，還能處理最新關於弱酸性空氣污染物的問題。」

弱酸的例子包括醋酸(醋酸鹽，CH3COO-)和甲酸(甲酸鹽，HCOO-)，以及亞硝酸(亞硝酸鹽，NO2-)。這些污染物會在黃光製程中產生污染和產量的問題，因為不僅傳統AMC化學濾網無法除去這些污染物，而且使用傳統設計的過濾器時還可能產生有機污染。

VaporSorb化學濾網以獨特的混合材料捕捉空氣分子污染物。藉由添加新的吸附劑來加強該混合材質，以產生新型四合一化學濾網。實測上，終端使用者測試已證明該化學濾網能夠捕捉所有會污染晶圓和設備的有機物、鹼、強酸和弱酸。

美商英特格也將於2014台灣國際半導體展中的TechXPOT創新技術發表會上，介紹VaporSorb TRK化學濾網之特性與應用，敬祈屆時蒞臨指教。更多關於VaporSorb TRK相關訊息，請參閱官方網站，或是聯繫當地客戶服務代表。

9月4日TechXPOT 創新技術發表會
講題：VaporSorb TRK Chemical Filter - Full Range of AMC Protection for Coater/Developer Tools
主講人：Mr. Jason Lai, Gas Microcontamination
時間：15:30~16:00
地點：台北世貿南港展覽館 1樓 Micron Stage Booth #2002

關於Entegris

Entegris是半導體與其他高科技產業的領導供應商，為這些產業在處理與製造中所用的關鍵材料，提供純化、保護和運輸所需的多種產品。Entegris通過了ISO 9001認證，並在美國、大陸、法國、德國、以色列、日本、馬來西亞、新加坡、南韓和台灣設有製造工廠、客戶服務中心或研究基地。更多資訊請參閱：www.entegris.com。