半導體高科技廠房設施 最適化研磨液供應系統

近年來半導體產業紛紛重視工業4.0的發展，盼透過大數據(Big Data)整合與人工智慧(AI)的加值，帶動晶圓廠設施系統更添自動化與智慧化，有助於製程掌控、產品精進發展及環境安全多管齊下，使高科技廠房設施進化至下一世代。

廠房設施項目眾多，舉凡包括水、電、氣、化、環安等構面；其中，研磨液輸送系統(Slurry Dispensing/ Distribution System；SDS)為供應平坦化製程中供給研磨液的廠房設施，以供應符合製程需求的研磨材料，確保機械平坦化(CMP)製程穩定性及品質優化。

為符合廠務系統智慧化的期待，高科廠房的液體輸送系統，需在輸送程序中的混料、保存、供應等階段，確保研磨液或化學液體的品質與來料相當，且以系統化穩定控制。即便化學研磨液已經過長時間及長距離的輸送，供給製程端使用時，皆能符合來料廠商出廠時的品質，達成製程最適化。

為提供超越客戶期待的服務，亞泰半導體設備以累積20餘年中央研磨液輸送系統(Central SDS)海內外建廠經驗，整合優勢方案以強化輸送系統監測控制能力，提供晶圓廠一個品質監控智慧化液體輸送設施選擇。

SEMICON Taiwan台灣國際半導體展，將於9月5日南港展覽館登場，其中「高科技廠房設施主題專區」(High Tech Facility Pavilion)包含跨國廠商亮相更多符合智慧化廠務系統相關服務。專區內包含亞泰半導體設備(AsiaICMP)，於一樓舞台旁K2960攤位展出，分享研磨液輸送混料系統如何回應半導體先進製程與智慧化工業4.0之要求。