科技1分鐘：邏輯晶片製程3階段（FEoL、MoL與BEoL）
- 許經儀
製造邏輯晶片時，主要可分為3個獨立的區塊，分別是前段製程（FEoL）、中段製程（MoL）以及後段製程 （BEoL）。據比利時微電子研究中心的說明，前段製程（F...
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