科技1分鐘:氫氟酸(HF)
- 許經儀
氫氟酸(Hydrofluoric Acid;HF)又稱氟化氫或氟酸,為半導體製程中常見的化學品,主要用於清洗及蝕刻製程。由於具極高毒性及強烈的腐蝕物質等危害特性,其以「化骨水」俗稱廣為人知。綜合環境部、僑力化工等公開資料,在半導體、面板...
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