日本Patentix攻克二氧化鍺6吋晶圓鍍膜 2027年投入試製
- 江仁傑／綜合報導
源於日本京都立命館大學（Ritsumeikan University）的新創Patentix，宣布成功開發出相容6吋晶圓的全新鍍膜系統（Deposition System）。利用該系統，Patentix成功將下一代功率半導體材料金紅石型（Rutile）二氧化鍺（r-G...
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