半導體廠務邁向預測式管理 科勝串起AVEVA工業數據
- 黃女瑛／台北
隨著半導體製程邁向2奈米以下，3D IC與先進封裝提高對製造環境穩定度的要求，電力、超純水、真空及無塵室潔淨度等廠務參數一旦異常，都可能影響晶圓良率。科勝結合AV...
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