帆宣公司參展Semicon Taiwan 2009 提供先進設備及技術服務 展現產業佈局之競爭實力

帆宣公司多年來致力於先進設備的代理業務，產品線完整且多元化，提供高科技產業先進技術及完整解決方案。Semicon Taiwan 2009活動中，除了將展出往年介紹之Hitachi-Kokusai及Jordan Valley之外，並包括MTC及Ricmar等多項尖端技術之設備，還有Cyantek的化學液相關產品。此外、帆宣近年來更佈局自動化設備開發領域，尤其針對雷射微精密加工及自動化光學檢測的設備開發，更是不遺餘力。

原廠Hitachi-Kokusai為奈米級IC製程技術上的薄膜成長設備供應商，提供主流12吋晶圓之垂直式擴散爐管，具有高產出率、高可靠度及低消耗成本之特色；應用於批式反應室中進行多種半導體高溫氧化與薄膜成長製程；新產品包括原子層氣相沉積爐管ALDINNA、光化學蒸汽沉積PICVD、電漿氧氣化、氮化機台MARORA及單晶片乾式光阻蝕刻機台TANDUO。

另一原廠Jordan Valley是全球X-ray量測的領導者，提供薄膜量測在產線上量測的解決方案，結合了3種量測儀於一機，可選擇搭配第二代更快速的X光繞射儀(X-ray Reflectivity；XRR)以及微米級更小量測點的X光螢光分析儀(X-ray Fluorescence；XRF)，還有領先業界的小角度X光繞射儀(Small Angle X-ray Scattering；SAXS)。2008年購併了HRXRD領導者Bede之後，更加強了Jordan Valley在X-Ray量測領域的領先地位。帆宣長期為Jordan Valley在台灣、中國、新加坡地區的合作夥伴，提供最佳銷售及技術支援服務。

光罩製程目前已是IC奈米(nm)級製程以下之重要關鍵。由於光罩對IC製程技術之影響重大，各IC廠及光罩公司對光罩設備/材料之投資將不遺餘力。帆宣目前所代理的MTC針對高階及低階光罩之光阻塗佈以及清洗設備亦已獲重要客戶採用。

原廠Ricmar為半導體自動化整合設備之德國廠商，提供High Throughput及穩定的handling system for sorter、packer、transfer tool，可整合各界不同之需求,提供客製化服務。該集團底下有coater、developer、Cleaner及表面缺陷檢測設備。針對pattern wafer或是non-pattern wafer，皆可提供客戶完善solution。Nanophotonics除了小尺寸的表面檢測設備，目前更是全球少數可提供450mm檢測能力，該設備已於2009年已於美國公司應用。Solar-Semi內有數十位在業界黃光領域服務超過20年之專業人士，不論是半導體、LED，都可針對客戶需求提供完整之solution。其他還有如電子故障分析(EFA) 設備，以及非接觸式量測厚度、粗糙度、表面應力、粘著力測試及Automation Optical Inspection 之檢測設備等。

而Cynatek公司生產之特用化學液已應用於成熟光罩產品製程比如顯影、蝕刻及清洗等,其高階產品亦能應付更小線徑與更高規格之要求。其新產品?Developer?stripper NRS306(DBSA base)目前更陸續接獲光電產業相關業者黃光區測試使用。

近年來帆宣公司針對於自動化設備開發的領域上，除了投入大量研發人員外，更是積極與國內學研單位進行合作，並積極參與政府的業界科專計畫。目前，已陸續開發出雷射點焊機、導光板模蕊雷射加工機、太陽能電池雷射加工機等設備，並廣獲廠商好評。未來，帆宣將繼續開發業界所需之客製化設備，以期能為政府「設備本土化」策略盡點心力。帆宣Semicon Taiwan 2009展位編號為B區388。