MTS高分辨率自製X射線源

MARS TOHKEN SOLUTION (MTS)具有高分辨率自製X射線源的檢測設備製造商，利用公司原有的高分辨率X-Ray線源，透過X-Ray和CT實現了感測器裝置和復合材料的精密分析。同時能夠利用豐富的經驗與技術為產業界的生產線，提供客製化的自動X-Ray檢測系統。

MTS的晶圓凸塊X-Ray自動檢測系統TUX-8000系列產品，可實現全自動在線X-Ray檢測系統，具有最高放大倍率和更亮的原始X-Ray線源。

適用於8英吋和12英吋晶圓的微凸塊檢測，可以檢查系統的凸塊空隙與直徑、凸塊的空隙百分比以及在um級精度下的凸塊之間的短路。

此外，MTS獨特的X-Ray系統可以在低X線放射損傷下進行檢查，對存儲器和影像感測器的半導體晶片的影響也較小。通過研發，汽車零組件和電池的生產現場以及半導體品質控制的無損檢測為社會做出貢獻。