中國再秀本土曝光機台 上海微電子前、後段雙線布局
- 謝昇輝／綜合報導
中國半導體設備自主化持續推進，上海微電子（SMEE）近期在第九屆中國國際進口博覽會（進博會）展示新一代曝光設備，從前段乾式掃描投影曝光機SSC800、SSB800，到先進封裝曝光機SSD820，布局涵蓋不同製程環節。其中，公司...
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