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志尚提供半導體PM2.5奈米暨微污染分析及工安環保設備

  • 李佳玲

突破20nm極限,志尚展示Kanomax超純水(UPW)及Slurry中奈米粒徑分布計數器系列產品。

2018國際半導體展會,志尚儀器將於現場特別展示相關半導體方面分析儀器設備,除了以往展出符合Semi ITRS 2015 Guide Roadmap 中符合AMC Method的線上酸鹼排放暨AMC分析系統(PWPD-IC)以及最新的離子電泳分析儀(IMS)與最新的光腔衰盪光譜(CRDS)分析儀外,2018年更將展出新代理日本Kanomax FMT公司所生產符合SEMI C79-0113及C93-0217 Guide可量測10/15/20nm的奈米微粒計數器(sTPC)以及5-600nm奈米粒徑分布(LNS)。

除了可作為超純水(UPW)的線上監控設備,另外也特別針對CMP(研磨機)所使用的Slurry粒徑分布量測提供完全新設計的LNS系列;對於極低濃度或是真空腔中的微量氣體,志尚提供RGA線上質譜系統以及線上型ppb級總有機性氣體(TVOC)等解決方案;此外也會展出高科技廠房常用的工安環保及IAQ等相關設備。

打破20nm極限  可量測10nm以下液態微粒子

志尚儀器所代理的日本Kanomax公司2018年推出世界唯一突破20奈米極限使用於高科技廠房中超純水使用的超微細粒子計數器(sTPC),專利的霧化器(Nebulizer)系統可將UPW超微細顆粒有效並結合Fast CPC的技術一舉突破光學粒子計數器20nm的極限,可以監控超純水中10/15/20nm顆粒的變化。

另外新推出的LNS系統更是除了UPW外更針對CMP製程中的Slurry顆粒分布進行線上監控,量測粒徑範圍可以由5nm?600nm,分析時間也可大幅縮短。

SEMI ITRS 2015 Roadmap微污染分析  志尚提供完整分析設備

在SEMI IRDS 2017 Roadmap中所建議半導體廠中偵測AMC的分析方法為PPWD-IC、IMS、PAS、CRDS、PID、APIMS等, 因此志尚儀器除了之前與國立交通大學蔡春進教授的所進行技術合作,並成功將蔡教授的Denuder技術進行商業化改良,並與ISO 17025實驗室結合,已經成功開發出新一代的AMC分析儀(PPWD-IC),該品項也榮獲國家玉山獎的肯定。

近來更合作開發相關PM2.5及氣膠微粒採樣設備,回收率可達95%以上,與之前的Denuder合體可以同時且有效的針對酸鹼排放管道氣體及PM2.5微粒樣品進行成分分析。

另外,也擴大與國外的技術交流,成功的開發出第三代的離子電泳分析儀(IMS),其設計除了捨棄傳統的化學Dopant外,也採用較低放射性的氚作為游離源,不僅可以偵測酸鹼兩種氣體,而且可以同時量測多種酸性氣體(HCl/Cl2/HF/H2S/SO2)。

此外可加溫的偵測器設計可以避免樣品濃度過高造成汙染。另外,因為不使用Chemical Dopant,因此也不會有如一些廠家在使用時因Dopant氣體與空氣中其他氣體反應形成結晶造成偵測器的汙染;此外最近也新代理ABB公司的最新的光腔衰盪光譜技術(ICOS-CRDS)可以同時量測高科技廠房內的Ammonia與HF及HCl等重要氣體。

志尚提供最新的GED/GPD氣體擴散採樣技術

此外,更針對高科技廠房中所使用的Dopant Gases或Bulk Gases中可能隱藏的氣態或奈米顆粒等不純物(重金屬氣體),志尚也提供最新的GED/GPD氣體採樣技術,經由微粒化後可以直接將樣品通入ICP-Mass作相關的不純物分析,分析下限可達5 ppt對於Dopant Gases或是Bulk Gases部分的不純物部分。

志尚儀器自1990年成立至今,已從一個單純氣體分析儀器代理商的角色,提升為氣體分析儀器製造商及系統統合商(Turn-Key Solution),現今又正式成立研發製造部門,正式踏足研發製造領域,成為具備由儀器諮詢→研發製造→儀器銷售→系統整合→分析校正服務→儀器租賃,提供客戶完整治標暨治本的解決方案。

成立至今為了不斷的追求品質目標以提供客戶最佳的售後服務,不僅通過ISO9001:2015認證,之後又先後成立ISO 17025認證暨TAF第1936號氣體流率(Flow Rate)與氣體偵測器(Gases Monitor)校正實驗室,以提供客戶最優質的氣體流量計或校正器之校正,與可燃性/毒性氣體偵測之校正服務,以及全台第一家微污染氣體分析實驗室(AMC Lab.)可提供客戶有關潔淨室內酸鹼氣體及有機氣體的採樣分析,品質可達ISO 17025等級。

目前志尚儀器也希望朝著本土化生產高階氣體分析儀器之目標不斷的提升自我能力,除了產品已取得CE相關認證部分,零組件也申請台、中、美的專利,現今不但多項設備獲相關半導體業界或傳統石化業界暨研究單位陸續採用中,另外也已經成功外銷相關高階氣體分析儀器至歐美等國。

如需進一步志尚產品訊息,請上志尚儀器官網查詢,或來電指教 0800-000501,歡迎業界先進蒞臨9月5至7日半導體展會場參觀指教,展示攤位號碼:南港展覽館4樓L124。



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