台灣安智推出先進平面顯示器製程的關鍵材料

台灣安智電子材料(AZ Electronic material)為平面顯示器產業的主要電子化學材料供應商，尤其是應用在TFT-array的黃光製程材料。目前安智針對先進的金屬氧化物TFT(Metal Oxide TFT) 與TFT-array銅導線製程，推出一系列的新產品。

針對金屬氧化物TFT推出的高耐熱、高阻水的平坦化材料，以矽元素與有機材為兩種主要成分，藉由融合此兩者的特點，得到了高耐熱與高膜厚的平坦化材料。其耐熱溫度可高達攝氏500度，並藉由一般常用的光阻塗佈機，可得到厚度約介於0.2um至15um的膜。對於不同金屬氧化物TFT的製程需求，此高耐熱、高阻水的平坦化材料又可設計為感光與不感光兩種形態。此特性可補強金屬氧化物TFT對環境的敏感性，進而設計出結構更佳的平面顯示器。

另一方面，因應3D顯示器時代的來臨，TFT-array製程中銅導線為其相當重要的一個切換關鍵。因應此關鍵製程的轉換，安智電子材料也推出銅導線製程專用光阻劑，藉由提升光阻劑的表現，來提高整體的良率。此新配方光阻，除提升銅導線製程能力外，亦可配合客戶需求，針對4道光罩製程的製程參數進行優化。

安智電子材料秉持著服務客戶、與客戶一同創新成長的精神，持續與客戶針對先進製程，共同開發新的材料，並在合作的過程中達到互惠雙贏的成果。