海德漢ETEL高精密運動平台TELICA首度亮相

海德漢於SEMICON Taiwan 2019展示集團一系列的高精度產品，包含開放式光學尺與模組式角度編碼器、NUMERIK JENA與RSF的開放式光學尺。SEMICON Taiwan現場展示第一次在亞洲亮相的ETEL高精密運動平台TELICA，一睹TELICA最先進的半導體設備核心的運動控制平台，為您呈現高產能與高生產效率完美並存的解決方案。

新一代開放式光學尺LIDA400系列，包含新一代光學訊號處理單元(HSP)的光學尺；除相對較大的容許誤差便於現場組裝的施作，當光學尺在實際運作遇到因污染而訊號衰弱或異常時，新的ASIC晶片，可發揮其功能，透過光源的控制，使得光學尺讀頭仍能提供穩定的訊號輸出。

RSF的絕對式角度編碼器MCR15

不帶內置軸承的絕對式角度編碼器MCR 15在電子控制驅動領域及測量領域用於位置和角度控制。獨特光學設計與安裝容許誤差較大的特色，降低了對污染的敏感度。讀頭訊號輸出，讓使用者能感受到機台運動狀態的穩定性。

NUMERIK JENA的LIKgo 新增量式直線光學尺

LIKgo是NUMERIK JENA推出的全新、特別設計的開放式直線光學尺，其外型輕薄短小，適用於半導體檢測與生產設備、量測儀器與量測顯微鏡等。

ETEL的TELICA精密運動平台

TELICA是ETEL新一代先進封裝設備的高速雙龍門平台，XYZ 共8軸的運動平台。應用於Die bonding黏晶製程(Flip-chip, Fan-out, 3D stacked package and µ-LED bonding)。此運動控制平台可同時滿足高產能與高精度，具備X軸加速度可達4G，Y軸6G，Z軸7.5G，±1µm放置精度(global placement accuracy)與覆晶封裝應用，生產率達10kUPH，提供更高效能。

ETEL推出Vulcano XY精密運動平台結合ZT3H旋轉傾斜和Z軸模組適合用於晶圓的前製程段。機械軸承的設計在XY水平與垂直方向提供極高剛性，允許高加減速度(可達2.5g)，最高速度(可達1.5m/s)，雙向重複精度(X軸與Y軸 ±350nm)，具備奈米等級的定位穩定性。Vulcano內建高速高精度控制器AccurET VHP與主動式制振平台QuiET，大幅增強高速高精度運動性能，適合應用於奈米等級的量測機台。