奈米壓印的初始應用 （一）：技術與挑戰
- 林育中／專欄
最近Canon發布可以達5奈米製程節點的奈米壓印機FPA-1200NZ2C 。奈米壓印是半導體製造中將線路設計圖案轉印到晶圓的方法之一，另一個為人熟知、也是目前產業界中用以量產的主流方法是曝光機。
奈米壓印的方...
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