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NDS為半導體業者提供最新PFAS-based產品替代解決方案

  • 劉中興台北

NDS為半導體業者提供最新PFAS-based產品替代解決方案。NDS
NDS為半導體業者提供最新PFAS-based產品替代解決方案。NDS

3M在2022年底正式宣布將在2025年底停產所有PFAS-based的產品, 對於已習慣使用PFAS-based產品的半導體業者或是其他產業運用使用者而言,短期間能找到替代方案是重要課題,尤其還需要顧及不能斷料以及環保趨勢。

在半導體先進製程中,PFAS-based的電子氟化冷卻液是無可或缺的。可用於半導體先進製程中乾式蝕刻機、離子注入設備、化學氣相沉積(CVD)設備。在製程中對於溫度穩定度非常要求,需使用恆溫器(Chiller)保持反應槽內的溫度,恆溫器(Chiller)需使用到大量的電子氟化冷卻液恆溫及冷卻,雖然現今市面上已出现許多的替代品,但電子氟化冷卻液的市場長期被3M寡佔,所以在3M宣布三年後全面停止販售PFAS-based的相關產品,半導體生產供應鏈中需使用到PFAS-based液體的廠商,急迫地在尋找替換方案。

目前各廠家不斷在找尋對應替換的產品同時,對於有PFAS-based的產品也充斥著各種疑慮,其原因為目前歐盟及美國都在不斷的審視且訂定關於禁用含有PFAS-based的產品。

PFAS-based化學品被稱為「永久性化合物」,其原因為此項化學物質穩定性極高,不易與任何物質產生反應,會殘留於土壤及水中造成環境的污染,在不經意的狀況下就會被人類吃進身體內,人類若是長期食用會造成健康問題,包括肝臟損傷、腎癌和新生兒先天缺陷等,所以目前各國都在制定關於PFAS-based化學品的相關規範。

除了環保法規的議題讓各家廠商苦惱外,連帶出的問題為現今的替代方案大多都是中國廠商中國製造的產品居多,在現在中美貿易戰還在持續發酵的狀況下,找尋替代方案又是一個難題。

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