勀傑科技打造SEM整體解決方案 滿足微奈米等級自動化檢測需求

精準控制品質、提升生產效率是製造業最根本的營運要求，可提供高解析度微觀圖像，快速且準確地檢測產品的缺陷和品質問題的桌上型掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope；SEM），現在已與機器視覺技術整合，透過智慧化機制檢測產品品質。奈米級電子顯微鏡影像領域專家勀傑科技，代理全球電子顯微鏡領導品牌Thermo Fisher Scientific產品多年，近年更進一步將此品牌的Phenom桌上型SEM產品與自身產業經驗結合，協助各領域製造業者建構高效能、高解析度自動化檢測系統。

勀傑科技指出，品檢向來是產線的重要環節，以往工廠的品檢工作都以人力為主，由於人眼有其限制，除了用眼過久會導致專注力下降外，也無法因應高速自動化產線與細小瑕疵檢測需求，因此光學自動化檢測（AOI）技術成熟後，逐漸為大型製造業者採用。目前AOI仍是製造業的主流檢測系統，工作內容則以表面瑕疵檢測為主，然而部分製造領域的檢測需精細到微奈米等級，這時就需要電子顯微鏡襄助。

電子顯微鏡以往多應用於學術研究與產業實驗室，在學術研究部分，目前當地多所大學已利用勀傑科技代理的電子顯微鏡，進行材料、物理、化學、地質等領域研究。產業應用方面則以半導體分析為主，例如提供材料分析（Materials Analysis；MA）、失效分析（Failure Analysis；FA）與可靠度分析（Reliability Analysis；RA）給當地半導體分析服務廠商。近年半導體、化工與部分特定領域製造業的製程逐漸走向微小化，SEM也開始被應用於產線檢測，由於製造場域的空間有限，難以容納體積龐大的傳統落地式SEM，相當於一台PC大小，可輕巧整合於產線，提供微奈米等級影像解析度的桌上型SEM無疑是最佳選擇。

具體而言，桌上型SEM自動化檢測在製造產線有幾大優勢，首先是高解析度電子成像和分析功能，可讓產線人員觀測微米、奈米等級樣品，深入掌握材料結構和組成等各種資訊。其次是桌上型SEM與機器視覺技術的整合，可滿足高效、高精準度檢測需求，系統還可自動捕捉圖像、辨識缺陷並生成報告，降低檢測工作的人力負荷。第三是桌上型SEM可輕鬆整合到自動化生產線中，不需要大量空間與複雜安裝過程。第四是隨著技術精進，桌上型SEM系統的檢測分析速度將大幅提升，製造業者可快速獲得產品品質資訊，即時進行調整、改善製程。最後是SEM生成的數據可與其他製造數據整合，透過後端分析系統，優化生產流程、提高產線效率。

目前已有多家當地外製造業者採用Phenom桌上型SEM，近期勀傑科技就協助全球大型化工業者建構相關系統，進行微奈米等級自動化檢測。該公司生產電動車電池用銅箔，由於銅箔表面平整度會影響電池極片的裝配和接觸效能，平整的銅箔表面可確保極片之間接觸良好，減少接觸阻抗，從而提高電池的能量轉換效率，因此即便是肉眼難見的表面微小瑕疵，都會影響電池效能，導入Phenom桌上型SEM後，則可確保產品品質符合客戶要求。

另一案例是台灣半導體封裝，半導體製程走向微小化，封裝過程中的錫球焊接品質對半導體元件的影響甚鉅，傳統AOI的光學顯微鏡會因光線本身的散射、反光問題，導致大曲面樣品的檢測精準度不足，Phenom桌上型SEM的電子檢測則可解決此問題。除了電池銅箔瑕疵、半導體元件錫球等精細檢測外，此產品也被應用於金屬加工領域，例如汽車輪框或傳動軸，就藉此分析材料元素，確保產品強度可滿足車規需求。

長年深耕奈米級電子顯微鏡影像領域，勀傑科技深知客戶需求並非只是單一產品，因此該公司也結合多年經驗提供完整解決方案，例如整合SEM與EDS（X射線能量散布分析儀），協助使用者輕鬆準確量化樣品成分，大幅縮短研發時間，並提高效率。另一方案是結合AI功能，讓SEM具備學習能力，自主判斷檢測物瑕疵類型，提升檢測效率。

隨著製造業對微奈米等級檢測需求日增，未來桌上型SEM在產線的應用將漸深漸廣，勀傑科技將結合完整電子顯微鏡產品生態系與專業導入經驗兩大優勢，協助客戶提升產線效率、降低生產成本，從而擴大市場競爭力。