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半導體廢棄物回收需聯合共同資源 方能展循環經濟最大效益

  • 黃女瑛

循環經濟必須透過研發技術不斷精進,才能創造它的最大價值。法新社

近年來受全球高度關注的循環經濟,以位居台灣經濟重要命脈的半導體產業來看,目前運作效益展現最明顯以台積電為主,主要來自於其量體大的12吋晶圓廠導入,而封測端則開始醞釀集結以「聯合共同資源中心」的概念,期更有效益的創造資源再生。

再生能源業者表示,研發在循環經濟中扮演重要角色,但在「5 + 2」產業創新計畫中,研發經費爭取恐怕是最弱勢的。

循環經濟概念近年來受到高度重視,該背景還包含過往污水排放問題引爆,引起社會大眾的重視。溶劑的排放管理在半導體製程中相當關鍵,製程的分流、分管是引入有效循環再利用的初步,這可以使得溶劑重複被利用,達資源使用最佳化。

循環經濟運作同樣要搭上有效量體,即是回收量也要達到規模經濟,才能讓效益發揮到最大,促使製造業者願意主動投入,否則單純考量到環保、法規、環境及社會觀感等因素,投入的誘因仍不大。

以晶圓代工為例,目前溶劑回收再利用做得最有效益者以台積電為主,主要就是12吋晶圓新廠起動運作時也同步導入,量體大、使效益得以彰顯。

而其他業者若廠房過舊,不見得可以有效從循環經濟的角度重新規劃,雖然也積極期望導入,但效益彰顯即相對有限,但若集結同業來共同投入資源再利用,同樣可以拉升效益。

晶圓代工製程最常見的廢硫酸來說,多數業者都能透過資源化後,將其轉成一定比例的工業級硫酸或更高階的電子級硫酸,當然,目前以工業級硫酸居多,而外傳台積電積極投入資源,以期拉升電子級硫酸的比例。

再生能源業者分析,目前有能力做到自有產線自行資源化的,仍以台積電最具代表性,主要就是本業獲利能力佳,再者即是產能規模大,投入該項目運作可創造具體的經濟效益。

化學液體在投入製程後,透過分管、分流製程,再進行資源化後,某些比例可以回歸原製程再被利用,或銷售到其他產業,均可為組織創造利潤;但最怕的還是排放過程中化學液體被雜混到,業者反而可得花錢請專業再生能源業者來處理,評估是否透過蒸餾等方式進行脫離,再利用或依法當成廢棄物處理,這些均是相當大的工程、且更耗能。

目前也有透過與化學劑廠間的合作來運作,化學劑廠一手包辦從銷售、回收、再利用等商業模組來運作,例如異丙醇(IPA)包括李長榮、長春石化等均提供此服務。

就半導體封測業來看,背部研磨製程產生含水的矽泥,得以透過資源化後,將其再製成鋼鐵業使用材料,目前該領域技術運作以亞邦國際旗下的成亞拔得頭籌。由於單一封測廠產生矽泥量有限,成亞正規劃招攬各封測廠組成「聯合共同資源中心」,以共同加入來創造量體化,加大資源化後的經濟效益。

單純就半導體產業在循環經濟領域動態來看,廢硫酸的資源化且再利用最普遍受到認同,且資源化後再分散到各產業再被利用所創造的價值也明顯,不過,若要更精密的資源化以創造最大價值回收,則仍有諸多門檻待突破,這塊其實是後續研發的重點。

廢氟化鈣及廢氫氟酸則多數回收後做成人工螢石,供鋼鐵產業使用,但因半導體運作過程中,殘留一定的雜質,這使近年來鋼鐵廠對其應用量產生遞減,導致這類資源再利用的螢石從過往每公斤新台幣7~8元,到目前只剩下2~3元。顯示資源化後開創其他市場以創造更大價值的重要性。

目前政府的「5 + 2」產業創新計畫中,將循環經濟納入其中,彰顯政府對循環經濟的高度重視度。不過,包括政府及部分業者,在認知上仍停留在製程產生廢棄物的歸類及分類上。

對於回歸原產線再利用及資源化後投入更多應用領域以大幅拉升附加價值,尤其創造出的跨界整合更具長期發展性,認知則相對匱乏,所以循環經濟領域在「5 + 2」的研發經費爭取很有限,主要是被其他新創產業所排擠。



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