中文简体版   English   星期四 ,10月 17日, 2019 (台北)
登入  申請試用  MY DIGITIMES231
 
科技產業報訂閱
活動+

汎銓科技全面展開技術研發 強化材料分析競爭力

  • 吳冠儀

汎銓科技董事長柳紀綸(左)與副總經理周學良(右)都指出,汎銓科技的材料分析技術,向來居於產業領先地位。DIGITIMES攝

近年來全球半導體產業戰況激烈,台灣與南韓在先進製程持續交鋒,製程技術將從5奈米走進3奈米,半導體先進製程考驗的不僅是廠商、產業的技術實力,更是國家之間的角力,面對此一趨勢,汎銓科技董事長柳紀綸表示,台灣在半導體領域的專業分工精細,各環節的技術實力位居全球產業領先地位,對於這場競賽,他十分有信心。

汎銓科技是台灣乃至於全球半導體產業中,少數聚焦於材料分析(MA)的專業廠商,多年來積極培育專業人才,深化技術實力,在MA領域中已臻產業領先地位,對於半導體廠將進入3奈米製程,也已備妥相關技術。

汎銓科技副總經理周學良指出,5奈米與3奈米半導體的材料分析挑戰在於樣品的製備,半導體製程所用到的EUV光阻、Low-K等關鍵材料,由於受限於材料天性,在使用電子顯微鏡觀察其微結構與成分時,容易因電子束的照射,導致試片變形、倒塌,造成製程研發人員的誤判。

周學良表示,在半導體材料分析中,保持樣品原貌,避免因人為因素造成缺陷在每一代製程微縮研發過程中的必要工作,只是在5奈米乃至於3奈米製程中,樣品的體積更薄,因此也更容易變形。為解決此一問題,汎銓科技早在數年前就開發出ALD真空鍍膜技術,以真空鍍膜在樣品外層形成保護,就像為其穿上一層盔甲,避免因電子束的照射而產生變形。

ALD真空鍍膜技術是由汎銓科技獨力研發,目前也是市場唯一能完全保護樣品不變形的技術。柳紀綸指出,由於半導體製程走在業界尖端,多數設備廠商的技術難以跟上,因此許多設備都必須自行研發,在材料分析領域也遇到一樣的狀況。

當初汎銓科技提出真空鍍膜構想時,市面上的廠商仍無足夠技術滿足要求,因此汎銓科技只能自己來,透過之前培養的專業人才與技術累積,ALD真空鍍膜設備成功問世,柳紀綸透露之後有廠商前來洽詢,希望與汎銓科技合作生產,不過柳紀綸還是決定保留技術。現在ALD真空鍍膜已被汎銓廣泛使用於MA、FA等多項分析,近年來需求增加,汎銓科技也持續提供此服務以滿足客戶的需求。

半導體是知識密集產業,對專業的需求極高,要提供完善服務,除了具備尖端設備,專業人才更是關鍵,尤其是半導體產能快速放大,人才的數量也必須同等增加。汎銓科技從成立以來,不但積極培養人才,還透過人性化管理與完善制度留住人才,藉此建立起充足且具高度專業的人才庫。

完整人才庫在近年來日益激烈的半導體產業起了關鍵因素,柳紀綸以製程研發為例,半導體的材料分析必須走在製程研發之前,才能在客戶進行研發之際,提供對應的技術支援,然而既然技術尚未開始,要如何比客戶先走一步?這就是人才庫的最大價值。

柳紀綸指出,客戶的技術研發之前,學術界都早有各種研究,汎銓科技的專業人才不但必須熟知半導體產業,還必須將觸角延伸到學術界,了解目前有關的學術理論作法與進度,再從中找出客戶最有可能選擇的技術,先行投入研發,在客戶決定採用時,汎銓科技已然備妥相關解決方案。

當然技術選擇不可能百發百中,客戶選擇之外者,汎銓科技將之視為技術能量的累積,未來延伸出其他價值的機會仍然相當大,透過此一累積,汎銓科技的競爭力也越來越厚實。

對於未來發展,汎銓科技從今年開始積極踏出腳步,除了之前已有的新竹材料分析本部與南科分公司外,南京與同樣位於新竹的兩處據點也都開始營運,其中位於公道五路二段的新營運點也將提供FA與SA兩大服務。南京子公司營運方式會持續現在中央廚房管控的精神,讓各外站的品質及服務皆與總部一致,並會繼續開拓更多海外分析的業務及客群。

至於服務項目方面,由於客戶端的需求浮現,汎銓科技2019年也將開始表面分析SIMS服務,並強化故障分析的能量,購入先進封裝分析設備,提供客戶完整的分析服務,以因應日益激烈的市場競爭。汎銓科技將於半導體展展出(攤位號碼:I2228),歡迎到場互動交流。