中國EUV光源原型機亮相 90%零組件國產化、商用仍待突破
- 徐畇融／綜合外電
中國半導體設備新創朗道燧岩（上海）科技有限公司（簡稱朗道科技）日前公開一台極紫外光（EUV）光源機的原型機FlintNano LPP-OXXO。EUV光源機在先進微影系統設備中，是負責產生將電路圖曝光至矽晶圓所需之極紫外光的關鍵組成。這場公開展示顯示了中國...
會員登入
會員服務申請/試用
申請專線：
+886-02-87125398。
(週一至週五工作日9:00~18:00)
+886-02-87125398。
(週一至週五工作日9:00~18:00)
關鍵字
