海德漢ETEL為半導體製程帶來運動控制與精密運動平台解決方案
- 陳其璐/台中
隨著半導體製程與封裝技術的不斷提升,因此愈加要求製造與封測設備的整體性能。海德漢ETEL是擁有超過百年歷史的量測和運動控制軟硬體的供應商,在運動平台、控制系統與編碼器、光學尺等擁有相當完整的產品組合。
海德漢電子事業部銷售主管林明良談到,在半導體設備運動控制平台的相關解決方案中,海德漢ETEL從設備所需的零組件到完整運動平台,都能提供高效能的解決方案給客戶,在面對晶圓製造與先進封裝的製程挑戰時,能使其設備發揮高效能、高精度的運動控制能力,確保在良率與產能有極佳的表現。
在設備運動控制平台的零組件方案中,光學尺扮演著關鍵的角色,傳統光學尺僅能量測單一自由度上的位置,其他自由度上的誤差無法被量測,故精度就無法提升,因此在先進製程的良率提升,會遇到相當程度的瓶頸。若要解決這方面的問題,傳統作法必須使用多組光學尺搭配多個讀取頭來處理多個自由度的精度量測,後端的設備取得較為完整的量測數據後,便得以補償校正,確保整體設備的運作精度與穩定性都能有最好的表現。但這種作法在整體系統設計上就會變得非常複雜和沒有效率。
為了解決這方面的問題,海德漢的2D平面編碼器 PP 6000可直接回饋X、Y、Rz三個自由度的量測數值,讓設備商可以直接使用不須再額外計算,可大幅縮短運作時間外,也讓整體系統精度提升至奈米等級。PP 6000可根據晶圓的大小,其光學蝕刻板從60mm x 60mm到464mm x 464mm共有4種尺寸能提供設備商選擇應用。
如先前所提,除海德漢光學尺外,ETEL亦有運動平台VULCANO2與主動式制振平台QuiET,因此可提供給客戶高度整合性的運動平台解決方案。VULCANO2是一款具有創新設計概念,並搭載著名ETEL鐵心式馬達以及高階光學尺的龍門堆疊式多軸運動系統,尤其適用於晶圓前段和3D IC製程檢測等製程,例如微影堆疊量測、微小關鍵尺寸特徵2D&3D量測、薄膜量測等應用。QuiET則能有效消除來自樓板振動和運動平台本身加減速的振動,QuiET的前饋控制可消除高達99%的振動。
林明良表示,海德漢ETEL的產品,如光學尺、運動控制器、運動平台與制振平台等,可以彼此互相搭配提供完整解決方案給客戶,也能依照客戶需求單獨提供,就業務模式上相當彈性且多元。而他也強調,海德漢ETEL豐富的應用經驗,搭配海德漢ETEL所提供的完整解決方案,可縮短開發時間,使客戶端設備快速導入量產。以往客戶需要自行整合來自各供應商的零組件,並對其原型機進行完整測試,確認沒有問題後才會進入量產階段。使用海德漢ETEL的完整解決方案,可有效簡化開發流程,提升研發效益,使設備快速導入量產。
這類的解決方案非常適合用在半導體各種尺寸的晶圓檢測製程以及各種先進封裝製程中(如: CoWoS, InFO ,SoIC),目前在許多國際大廠的關鍵製程設備中,都可以看到海德漢ETEL的身影。海德漢ETEL不僅是設備業大廠的重要合作夥伴,也是名副其實的隱形冠軍。
- 半導體人才培育至上 研發、女力、多元同步發展
- 英國半導體商務代表團首度訪台參加 2023 國際半導體展
- 從高速運算到AI,3D IC成高階晶片量產終極解方
- 東捷科技部署高階雷射應用掌握新契機
- 全球半導體供應鏈的變革與挑戰
- AI世代的半導體技術發展
- 志尚儀器提供高科技廠房微汙染監測整體方案
- EVG在SEMICON Taiwan 2023展示混合鍵合與奈米微影壓印解決方案
- Beckhoff高速半導體智慧製造 亮相SEMICON Taiwan
- MJC透過測量技術的發展,提供多樣測試解決方案
- 海德漢ETEL為半導體製程帶來運動控制與精密運動平台解決方案
- 愛德萬測試參加先進測試論壇分享車用電子測試解決方案
- G2C+聯盟與東台東捷齊亮相 直擊CoWoS與Fan-Out製程
- 綠捷優秀工程精神成為半導體客戶自動化需求之首選
- 索爾維於2023台灣國際半導體展展示全系列高等聚合物和特種化學品
- 凱諾科技展出打造半導體晶圓及EUV光罩自動化最佳方案
- 創新技術結合獨家服務機制 亞智科技助客戶順利導入FOPLP創新技術
- 錼創展出各種MicroLED顯示器解決方案 搭配展場藝術設計 帶來沈浸感的科技之旅
- Lam Research科林研發CEO現身SEMICON Taiwan 2023
- 梭特科技混合鍵合設備為異質整合晶片開發提供助力
- Festo亮相2023 Semicon Taiwan 聚焦半導體控制解決方案
- 蔡司顯微鏡事業部服務台灣半導體技術革命,革新研發效能
- 化ESG為企業DNA 鈺祥助半導體客戶落實永續願景
- 羅格朗資料中心方案 滿足新世代資料中心電力效能需求
- 台灣精密機械是可信賴的夥伴 與半導體產業共創雙贏
- 推廣邏輯硬體概念 成真首次參與SEMICON TAIWAN 2023
- AI商機熱 算力需求升 宜特先進封裝異質整合分析服務布局顯效益
- 億光第三類半導體產品於SEMICON Taiwan正式亮相
- 永光化學以ESG高標準攜手半導體產業追求持續的成長
- igus易格斯號召大眾實踐減碳環保 於社群分享綠行動
- 世界前三大針測卡製造商-MJC深耕台灣打造在地化團隊
- 摩爾定律的全新賽道:異質整合如何助半導體產業迎戰5G、車用電子時代的來臨?
- SEMICON陸續暖身 愛德萬秀車用BMS測試實力
- 台荷創新論壇:矽光子技術將成焦點
- 搶進AI商機,解決高效能運算衍生的散熱問題
- 5G與車聯網時代 化合物半導體的逆襲與挑戰
- SEMICON 2023三方向強化半導體韌性 資安、淨零、智慧製造
- 永光化學線上論壇 帶您掌握最新半導體製程解決方案