中國砂輪發表最新PSS(Patterned-Sapphire Substrate)圖形化藍寶石晶圓基板技術

Patterned-Sapphire Substrate圖形化藍寶石晶圓基板技術，可改善LED的發光效率。

中國砂輪(KINIK)將於SEIMICON Taiwan 2011展中發表最新PSS(Patterned-Sapphire Substrate)圖形化藍寶石晶圓基板技術。近年來LED市場高速成長，主要因為隨著高亮度與高效率的LED產品問世，LED的應用日漸普及，從手機的LED應用，汽車的燈源、交通號誌、戶外大型監視器等都有應用實例。為符合LED應用多元化的需求，追求更高LED亮度是技術發展的重要趨勢。PSS技術是在藍寶石基板上做出一些圖形，主要的目的是希望能夠幫助LED廠商讓其所生產的LED商品，達成更高亮度的目標。

PSS技術是藉由MEMS製程，在藍寶石基板上雕刻出圖形，經過基板上的圖形，可以產生光線折射效果，如此便可將LED的亮度有效放大。過去LED廠商其採用的基板由於沒有加入圖形化製程，因此沒有辦法達到折射功效，一旦採用PSS的基板後，其亮度有機會較原先增加20~50%。

此技術在2009年開始成熟，中國砂輪也開始投入此技術，而圖形化基板技術的作法上，以前是用濕蝕刻製程進行，但做出的圖形較不漂亮，以致無法達到發光效率的要求。後來改用乾蝕刻的做法，不但可縮短時間及成本，發光效率更好。透過PSS做高功率的LED晶粒時，以前需要好幾顆才能達成的亮度，現在只要1顆即可，可以有效降低成本，希望在明後年的照明市場中，能因成本降低達成普及化，刺激市場需求。

此外，在光學鏡片的製程技術上，中國砂輪透過Wafer Level g Lens晶圓級可回焊鑄造鏡片技術，不但縮短相機模組實裝工程的時間，且降低成本及厚度。目前市面上所製作的Wafer Level Lens多為混合式(Hybrid)之樹酯加上玻璃基板，缺點在於製作結構複雜，導致光學設計及製作困難，且會增加厚度。中國砂輪採用Casting製作出結構簡單，且厚度較薄的鏡片，成為其產品技術的優勢。應用範圍廣從手機、筆電、遊戲機、監視器、行車記錄器、微型投影機、LED、硬碟讀取頭、醫療或工業用內視鏡等。

為了降低積體電路(IC)的製造成本，全球主要半導體公司如Intel、TSMC、及Samsung，共同合作在Sematech發展450mm晶圓的製造技術，預期在2015年進行量產。其中化學機械平坦化(CMP)將是生產的瓶頸之一，然而宋健民博士首創超音波CMP，可以大幅降低拋光晶圓的接觸應力。這種新技術，不僅提高了CMP的效率，也減少了IC晶圓的缺陷。

成立於1953年的中國砂輪，不但榮獲台積電「免驗入庫」獎，更在2011年榮獲台灣百大品牌TOP 100的殊榮。更多詳情請至中國砂輪Hall 1 Booth NO.1137 攤位洽詢。